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在洁净厂房的平面设计中，进入控制区的人口均有风淋室或气闸室，将生活区、一般生产区与控制区分隔开来。洁净厂房规范规定和生产工艺要求的净化级别，在净化车间机入口及出口处分别设计缓冲间的通过净化送风做的物理隔离。
洁净厂房通常设计洁净空调内设置了初效、中效或亚高效二级过撼装置，送风末端设置了亚高效或高效过滤器，静压箱和送风口根据工艺要求成组布置在顶棚上。
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